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| 行程 |
200x100mm
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300X200mm | 400X300mm | 500X400mm |
| X,Y軸驅動 |
手動
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| Z軸驅動 |
粗、細兩段微調
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| 光學倍率 |
28 ~180X
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| 連線方式 |
Off-Line
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| 機台精度 |
3+L/1000(um)
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| 光學尺精度 |
0.001 mm
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| 表面光源系統 |
LED環型光
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| 輪廓光源系統 |
自然綠LED光
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| CCD CAMERA |
1/2” 彩色高解析度 CCD
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| 電力需求 |
AC110/220V 60Hz – 15A
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