高解析、高精度的精密模具、沖壓五金、切割刀具,或檢驗晶片和集成電路等超微型半導體/電子元件。
德國HEIDENHAIN光學尺,解析度可達0.001mm。
工作臺行程:450X300mm。
搭配日本NIKON金相光學鏡頭系統,提升最高影像解析效果。
依照不同需求,提供明視野、暗視野、偏光、DIC裝置
高NA值鏡頭,光學倍率50X、100X、200X、500X、1000X
高倍率鏡頭可做金相分析使用
Z軸設計雙階段調節,高度或深度測量,精確度可到3um內。
VM-99 PLUS
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