Nikon 工具顯微鏡（Measuring Microscope）（MM-400／MM-800 系列
Nikon 影像式工具顯微鏡優勢與指南
Nikon 工具顯微鏡是一款結合高解析光學與精密量測平台的非接觸式量測設備，可提供微米級精度的尺寸、高度及幾何量測，是半導體、電子與精密製造品質檢驗的重要工具。
一、產品簡介
Nikon 工具顯微鏡（MM-400／MM-800 系列）是一款高精度非接觸式光學量測設備，結合 Nikon 高解析光學系統與精密 XY／Z 軸量測平台，可精準量測工件的二維（2D）及三維（3D）尺寸、角度、高度與形狀，廣泛應用於半導體、電子、精密加工及品質檢驗（QA/QC）。
二、主要特色
- 高精度量測：解析度最高可達 0.1 μm（0.0001 mm）。
- 高品質光學：影像清晰、對比高，可量測深色、高反光等特殊材質。
- 非接觸量測：利用光學對焦完成 Z 軸高度量測，不會刮傷工件。
- 多元照明模式：支援背光、落射光、暗視野、偏光及 DIC 等觀察方式。
- 耐用穩定：高剛性機體設計，使用壽命可超過 20 年。
三、主要應用
- 半導體晶片、Wire Bond 高度量測
- PCB 線寬、線距檢測
- 連接器 PIN 腳尺寸量測
- 精密沖壓件、模具、刀具檢驗
- Probe Card 探針位置與高度量測
四、基本操作流程
1. 開機準備
- 開啟主機及量測系統。
- 清潔工件，確認環境維持 20±1°C。
- XY 軸歸零。
2. 樣品對焦
- 放置工件並固定。
- 選擇適當照明（背光／落射光）。
- 先以低倍率找尋目標，再細調對焦。
3. 執行量測
- 使用 XY 載物台移動至量測位置。
- 擷取點位完成距離、直徑、角度等幾何量測。
- Z 軸可進行高度、深度量測。
4. 關機保養
- 將物鏡切回最低倍率。
- 載物台回中央位置。
- 降低燈源亮度後關機。
- 使用專用拭鏡紙清潔鏡頭。
五、Nikon 工具顯微鏡 FAQ
| 問題 |
可能原因 |
建議處理方式 |
| 燈源不亮 |
電源或燈泡故障 |
檢查電源、更換燈泡 |
| 無法看到影像 |
光路切換錯誤 |
檢查光路推拉桿 |
| 量測誤差大 |
倍率校正錯誤 |
軟體同步選擇正確物鏡倍率 |
| Z 軸下滑 |
Torque 鬆動 |
調整 Z 軸阻尼 |
| 目鏡模糊 |
視差未調整 |
先調右眼，再調左眼視差 |
六、保養注意事項
- 禁止在半鎖定狀態強行推動載物台。
- 搬運機台應抬起移動，不可直接推行。
- 鏡頭僅可使用吹球、拭鏡紙及專用清潔液清潔。
- 定期使用標準件校正，維持量測精度。
