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| 行程 |
行程：4"x4" (100x100mm)
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| X,Y軸驅動 |
手動
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| Z軸驅動 |
手動
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| 光學倍率 |
9 ~90X
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| 連線方式 |
Off-Line
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| 機台精度 |
4.5+9L/1000(um)
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| 光學尺精度 |
0.001 mm
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| 表面光源系統 |
獨立四分割，高亮度多層多角度LED光
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| 輪廓光源系統 |
高亮度LED光
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| CCD CAMERA |
1/3” 彩色高解析度 CCD
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| 電力需求 |
AC110/220V 60Hz – 15A
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