海德漢（HEIDENHAIN）數字千分儀 METRO MT60／MT101
HEIDENHAIN METRO MT60／MT101 數字千分儀優勢
HEIDENHAIN METRO MT60／MT101 數字千分儀結合德國精密光學編碼技術、高解析度線性量測與穩定的接觸式測量性能，可提供微米等級的尺寸、高度及位移量測能力。其優異的重複精度、耐用性及自動化整合能力，使其廣泛應用於半導體、精密加工、汽車製造、電子產業及智慧製造等領域。
搭配 PLC、自動化設備與 SPC 品質管理系統，可有效提升量測效率、降低人為誤差，實現高精度、高效率的製程监控與品質管理，是現代精密量測與智慧工廠不可或缺的重要量測元件。
一、產品簡介
海德漢（HEIDENHAIN）METRO MT60／MT101 數字千分儀是一款高精度接觸式線性量測感測器（Length Gauge），採用 HEIDENHAIN 精密光學量測技術，提供高解析度、高重複精度及優異的長期穩定性。搭配顯示器、PLC、自動化設備或量測系統，可快速完成尺寸、高度、厚度、平面度及位置等精密量測。
METRO MT 系列廣泛應用於半導體、精密加工、汽車零組件、電子製造、自動化設備、精密治具及品質檢驗（QA/QC），適合整合於生產線進行即時量測與製程控制。
二、產品特色
- 高精度量測：採用 HEIDENHAIN 光學編碼技術，可提供微米（μm）等級量測精度，滿足高精密尺寸檢測需求。
- 高解析度：具備極高解析能力，可精確偵測微小位移變化，適用於精密加工及高階品質管理。
- 高重複精度：優異的重複定位能力，可降低量測誤差，提高產品一致性及製程穩定度。
- 接觸式量測：利用高精密測頭接觸工件表面，可有效量測高度、厚度、平面度及尺寸，不受工件顏色或反光影響。
- 堅固耐用：採用高品質機械結構及耐磨導向設計，可長時間穩定運作，適合24小時自動化生產環境。
- 易於整合：支援各式量測控制器、PLC、自動化設備及 SPC 品質管理系統，可快速建置智慧量測平台。
三、主要應用
- 精密零件厚度量測
- 平面高度量測
- 模具尺寸檢驗
- 軸承及機械零件尺寸檢測
- 汽車零組件尺寸量測
- 半導體封裝高度檢測
- PCB 組件高度量測
- 自動化設備在線量測（Inline Inspection）
- 精密治具定位量測
- 品質檢驗（QA/QC）及 SPC 製程監控
四、基本操作流程
1. 開機準備
- 開啟控制器及量測系統。
- 確認感測器與控制器連線正常。
- 清潔測頭及工件表面。
- 執行歸零（Zero Setting）或標準件校正。
2. 工件定位
- 將工件固定於治具或平台。
- 調整測頭位置，使測頭垂直接觸量測面。
- 確認測頭預壓量符合規範。
3. 執行量測
- 啟動量測程序。
- 測頭接觸工件取得尺寸資料。
- 系統即時顯示高度、厚度或位移數值。
- 可同步輸出量測結果至 PLC、電腦或 SPC 系統。
4. 關機保養
- 將測頭移回安全位置。
- 關閉控制器及量測設備。
- 清潔測頭及設備外觀。
- 加裝保護套，避免灰塵或碰撞。
五、HEIDENHAIN METRO MT60／MT101 FAQ
| 問題 |
可能原因 |
建議處理方式 |
| 無法顯示量測值 |
控制器未連線 |
檢查訊號線及控制器設定 |
| 量測值跳動 |
工件未固定或震動 |
固定工件並改善環境震動 |
| 測頭無法移動 |
測頭卡住或異物阻塞 |
清潔測頭並檢查導向機構 |
| 量測誤差過大 |
未校正或測頭磨損 |
使用標準件重新校正或更換測頭 |
| 數值不穩定 |
接觸力不足或環境溫度變化 |
調整預壓量並維持恆溫環境 |
六、維護與保養
- 保持設備及工作環境清潔，避免灰塵進入導向機構。
- 測頭避免受到撞擊或側向受力，以免影響量測精度。
- 定期使用標準量塊進行校正，確保量測結果準確。
- 定期檢查訊號線及接頭，避免接觸不良。
- 建議於 20±1°C 恆溫環境下進行精密量測。
- 長時間未使用時，請將測頭收回並加裝防塵保護。
- 建議依設備保養週期進行年度校驗及預防性維護，以維持最佳性能。
七、HEIDENHAIN 數字千分儀差異性對比
| 規格項目 |
METRO MT12/25 |
METRO MT60/101 |
CERTO CT25/60 |
SPECTO ST12/30 |
| 系列定位 |
標準精密量測 |
大行程精密量測 |
超高精度量測 |
緊湊型精密量測 |
| 量測範圍 |
12 mm / 25 mm |
60 mm / 100 mm |
25 mm / 60 mm |
12 mm / 30 mm |
| 量測原理 |
光學增量式 |
光學增量式 |
干涉式光學增量 |
光學增量式 |
| 系統精度 |
±0.5 μm（典型） |
±1 / ±0.5 / ±0.2 μm（依型號） |
最高可達 ±0.03 μm |
±1 μm |
| 重複精度 |
非常高 |
非常高 |
極高 |
高 |
| 最大量程 |
25 mm |
100 mm |
60 mm |
30 mm |
| 防護等級 |
IP50（部分型號IP60） |
依型號而定 |
IP64（依型號） |
IP67 防塵防潑水 |
| 量測力 |
彈簧式／氣壓式可選 |
多種測力版本 |
電動定力控制（三段可調） |
低量測力 |
| 輸出介面 |
11 μApp |
11 μApp |
11 μApp |
11 μApp |
| 體積 |
小型 |
中大型 |
中型 |
最小、最緊湊 |
| 適用環境 |
一般量測站 |
長行程尺寸檢測 |
校正室、精密實驗室 |
生產線、自動化設備 |
八、HEIDENHAIN 數字千分儀各系列特色
| 型號 |
優點 |
適合應用 |
| METRO MT12/25 |
高CP值、精度高、體積小、量測速度快 |
一般尺寸量測、治具、檢驗站 |
| METRO MT60/101 |
長量程，可量測大型工件 |
汽車零件、機械加工、大尺寸工件 |
| CERTO CT25/60 |
HEIDENHAIN最高精度系列，干涉式量測、低熱膨脹設計、電動定力 |
校正實驗室、精密量測、半導體、航空航太 |
| SPECTO ST12/30 |
體積最小、IP67防護、易整合自動化設備 |
自動化生產線、在線檢測、機台整合 |
九、HEIDENHAIN 數字千分儀系列性能比較
| 比較項目 |
最佳系列 |
| 最高精度 |
CERTO CT25/60（±0.03 μm） |
| 最大量程 |
METRO MT60/101（100 mm） |
| 自動化整合 |
SPECTO ST12/30 |
| 一般精密量測 |
METRO MT12/25 |
| 校正與實驗室等級 |
CERTO CT25/60 |
| 惡劣環境使用 |
SPECTO ST12/30（IP67） |
十、HEIDENHAIN 數字千分儀系列選型建議
| 使用需求 |
建議型號 |
| 一般精密尺寸檢驗 |
METRO MT12/25 |
| 長尺寸工件量測 |
METRO MT60/101 |
| 奈米級、高精度校正 |
CERTO CT25/60 |
| 自動化設備、產線在線量測 |
SPECTO ST12/30 |
